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J-GLOBAL ID：201802282942925290   整理番号：18A0780398

集中質量系によるガルバノミラーのモデリングと実験によるモデルの検証

Modeling of the galvano mirror by lumped mass system and verification for the model through the experiments

著者 (2件)： NAKADE Keisuke (Tokyo University of Agriculture and Technology) ,  WAKUI Shinji (Tokyo University of Agriculture and Technology)
資料名： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web)  (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web))
巻： 12  号： 1  ページ： JAMDSM0032(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0027A  ISSN： 1881-3054  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガルバノミラーはレーザ加工の領域で広く使われている。それは,モータのねじりとミラーの弾性変形のため,種々の振動モードを持っている。機械構造物を改良し,共振原因を特定するために,ガルバノミラーのモデルを構成した。さらに,集中質量システムモデルは,各共振周波数とガルバノミラーの成分の間の関係を検証するためパラメトリックに考慮した。ガルバノミラーは,モータ,カップリング,およびミラーで構成される。次に,各々の部品のモデルは,別々に構築し,最終的にガルバノミラーのモデルを構築するために接続した。詳細には,モータモデルは,モータ自身の捩じれに基づいて構成される。弾性構造と見なされるミラーモデルを,減次モデルに基づいて構成した。ガルバノミラーモデルは,エンコーダで実際に検出できないピッチング振動モード含んでいる。機械的観点から,将来の改善に使用できるモデルの任意のパラメータを変化させ,各共振に対する変化率を検証した。さらに,種々の手法を通して共振を高周波領域に移行させるために,結合剛性を変化させて,モデルの妥当性を検証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *反射鏡 ,  システムモデル ,  *モデリング ,  共振 ,  振動モード ,  剛性 ,  ねじり変形 ,  共振周波数 ,  解析モデル
準シソーラス用語： *ガルバノミラー ,  減次モデル

著者キーワード (8件)： ガルバノミラー ,  集中質量システム ,  モデリング ,  低次元化モデル ,  剛性の結合 ,  シミュレーション ,  有限要素法 ,  モーダル解析

分類 (1件)： 振動論  (BB02020O)

引用文献 (11件)：

• Hirata, M., Kidokoro, T. and Ueda, S., Nanoscale servo control for galvano scanner using final-state control, IEEJ Transactions on Industry Applications, Vol. 129, No. 9 (2009), pp. 938-944.
• Hirose, N., Iwasaki, M., Kawafuku, M. and Hirai, H., Deadbeat feedforward compensation with frequency shaping in fast and precise positioning, IEEE Trans. on Industrial Electronics, Vol. 56, No. 10 (2009), pp. 3790-3797.
• Iwasaki, M., Seki, K. and Maeda, Y., High-precision motion control techniques: a promising approach to improving motion performance, IEEE Industrial Electronics Magazine, Vol. 6, No. 1 (2012), pp. 32-40.
• Kato, T., Maeda, Y., Iwasaki, M. and Hirai, H., A coordinate design of two-degrees-of-freedom controller for fast and precise positioning, IEEE International Workshop on Advanced Motion Control (2012), pp. 1-6.
• Maeda, Y., Wada, M., Iwasaki, M. and Hirai, H., Improvement of settling performance by mode switching control with split initial value compensation based on input shaper, IEEE Transactions on Industrial Electronics (2013), pp. 905-910.

タイトルに関連する用語 (5件)： ガルバノミラー ,  モデリング ,  実験 ,  モデル ,  検証