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J-GLOBAL ID：201802289758081080   整理番号：18A1244446

電気めっきパターン上の直接移動原子平滑Au膜を用いた大気中の室温Au-Au結合【JST・京大機械翻訳】

Room-temperature Au-Au bonding in atmospheric air using direct transferred atomically smooth Au film on electroplated patterns

著者 (3件)： Kurashima Yuichi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Matsumae Takashi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Takagi Hideki (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 189  ページ： 1-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マスタウエハの原子的に滑らかな表面からシーリングリング表面へのAu薄膜の直接移動を実証した。このプロセスでは,封止リングパターンがキャップウエハ上に形成された。これらのパターンは,200°Cでの熱圧縮接合により,マスタウエハ上のAu薄膜に結合した。マスターウエハとAu薄膜の間の接着は弱く制御されているので,マスタウエハ上の原子的に滑らかなAu薄膜は,ボンドキャップウエハとマスターウエハを分離することにより,既存のシーリングリングパターンウエハの上部に直接転写できた。これらの転写されたAuパターンは,大気中で室温で適切な接着層を有するもう一つのAu被覆Siウエハに結合された。その結果,約225MPaの高い接合強度が得られ,200°Cでの熱-圧縮接合の値とほぼ同じ値であった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 付着強さ ,  *電気めっき ,  被覆 ,  転写 ,  薄膜 ,  *金 ,  接合 ,  シリコンウエハ ,  接着層

著者キーワード (4件)： マイクロ電気機械システム(MEMS) ,  Au-Au結合 ,  室温ボンディング ,  原子的に滑らかな表面

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気めっき ,  原子 ,  Au ,  大気中 ,  室温