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J-GLOBAL ID：201802290880153938   整理番号：18A1278997

精密位置決め技術の最新動向と有効活用のポイント PART1 精密位置決めの最新技術とその適用 解説4 精密位置決めのためのセンサ活用

著者 (4件)： 清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  松隈啓 (東北大 大学院工学研究科) ,  伊東聡 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 機械設計  (Machine Design)
巻： 62  号： 9  ページ： 38-43  発行年： 2018年08月01日 
JST資料番号： G0863A  ISSN： 0387-1045  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・ステージの位置決めセンサとして広く使用されている回折光干渉型リニアエンコーダの基本原理を紹介。
・多軸精密位置決めセンサに関する研究事例(3軸変位センサ・3軸角度センサの原理と6軸サーフェスエンコーダ,モザイク格子適用による測定範囲の拡大,液面基準型3軸傾斜センサへの展開),などについて解説。

シソーラス用語： *位置決め ,  位置制御 ,  *位置センサ ,  光干渉 ,  回折格子 ,  事例研究 ,  センサ ,  傾斜計 ,  *精密位置決め ,  *リニアエンコーダ ,  角度センサ
準シソーラス用語： 傾斜センサ

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 精密位置決め ,  最新動向 ,  有効活用 ,  ポイント ,  活用