特許
J-GLOBAL ID：201803000206129161

静電チャック、および、静電チャックの製造方法

発明者：
宮本 和佳

宮本 和佳 について

, 
清水 和紀

清水 和紀 について


出願人/特許権者：
新光電気工業株式会社

新光電気工業株式会社 について


代理人 (2件)： 恩田 誠 ,  恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-131012
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006559
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】付加される機能の多様化を可能とする静電チャックを提供すること。【解決手段】静電チャックは、複数の突起11Tを上面10Sに備えた誘電体層10と、誘電体層10内に位置する静電電極30とを備える。複数の突起11Tの頂部は、基板を吸着するための吸着面であり、誘電体層10は、複数の第1誘電体部11と第2誘電体部12とを備える。複数の第1誘電体部11は、複数の突起11Tを含み、かつ、静電電極30と接合している。第2誘電体部12は、上面10Sにおいて各第1誘電体部11を囲み、各第1誘電体部11を構成する材質と、第2誘電体部12を構成する材質とが相互に異なる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の突起を上面に備えた誘電体層と、 前記誘電体層内に位置する導電体層とを備え、 前記複数の突起の頂部は、基板を吸着するための吸着面であり、 前記誘電体層は、複数の第1誘電体部と、第2誘電体部とを備え、 前記複数の第1誘電体部は、複数の前記突起を含み、かつ、前記導電体層と接合しており、 前記第2誘電体部は、前記上面において前記各第1誘電体部を囲み、 前記各第1誘電体部の材質と、前記第2誘電体部の材質とが相互に異なる 静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (13件)：
5F131AA02 ,  5F131CA12 ,  5F131CA68 ,  5F131EA03 ,  5F131EB14 ,  5F131EB18 ,  5F131EB19 ,  5F131EB22 ,  5F131EB26 ,  5F131EB54 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB84
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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