光学的に仕上げられた薄い高アスペクト比のダイヤモンド基板又は窓、及び、これらの製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本昇 , 中谷寛昭 , 日東伸二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-551112
公開番号（公開出願番号）：特表2018-511551
出願日： 2016年04月18日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：

ダイヤモンドフィルム、基板又は窓を形成する方法では、シリコン基板が提供され、前記ダイヤモンドフィルム、基板又は窓が前記シリコン基板の表面上にCVD成長する。前記成長したダイヤモンドフィルム、基板又は窓は、100以上のアスペクト比を有し、前記アスペクト比は、前記ダイヤモンドフィルム、基板又は窓の最大寸法を前記ダイヤモンドフィルムの厚さで割った比である。前記シリコン基板は、必要に応じて、前記成長したダイヤモンドフィルム、基板又は窓から除去又は分離することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの光学的に仕上げられた表面を含み、ダイヤモンドフィルム、基板又は窓の最大寸法を前記ダイヤモンドフィルム、基板又は窓の厚さで割ったアスペクト比が100以上である、ダイヤモンドフィルム、基板又は窓。

IPC (6件)：

C30B 29/04 , C30B 25/02 , C30B 33/00 , C23C 16/27 , C23C 16/02 , C23C 16/01

FI (6件)：

C30B29/04 E , C30B25/02 P , C30B33/00 , C23C16/27 , C23C16/02 , C23C16/01

Fターム (30件)：

4G077AA02 , 4G077AA03 , 4G077AB03 , 4G077AB04 , 4G077AB09 , 4G077AB10 , 4G077BA03 , 4G077DB19 , 4G077ED04 , 4G077ED06 , 4G077EE01 , 4G077EE05 , 4G077FG11 , 4G077FJ06 , 4G077HA01 , 4G077HA13 , 4G077TK01 , 4G077TK04 , 4G077TK11 , 4G077TK13 , 4K030AA10 , 4K030AA17 , 4K030BA28 , 4K030BB03 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030LA22

引用特許：

審査官引用 (7件)

ダイヤモンド多結晶基板の製造方法及びダイヤモンド多結晶基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-094454 出願人：住友電気工業株式会社
大面積高光学的特性型合成多結晶ダイヤモンド窓
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-546488 出願人：エレメントシックステクノロジーズリミテッド
自立したダイヤモンドウェハーおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-271944 出願人：住友電気工業株式会社

全件表示

前のページに戻る