特許
J-GLOBAL ID：201803000527587080
溝付き化学機械研磨層の製造方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
特許業務法人 津国
, 津国 肇
, 小澤 圭子
, 三宅 俊男
, 小國 泰弘
, 田中 洋子
, 生川 芳徳
, 柴田 明夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-199324
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072527
特許番号：特許第6238664号
出願日： 2013年09月26日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 化学機械研磨パッドに使用する溝付き研磨面を持つ研磨層を製造する方法であって:
方法が、
溝なしの研磨面を持つ研磨層を供給する工程であって、
型基部および前記型基部に取り付けられた囲壁部を有する型を供給する工程、
上面、底面、および、2〜10cmの平均厚さを持つライナーを供給する工程であって、前記ライナーの前記上面が型凹部の水平内部境界を画定し、前記型の前記水平内部境界がx-y平面に沿って向いており、前記型凹部がx-y平面と垂直の中心軸Caxisを有し、前記型凹部がドーナツ穴領域およびドーナツ領域を有する、工程、
接着剤を供給する工程、
液状プレポリマー及び複数の微小成分を含む硬化性材料を供給する工程、
ノズル開口部を有するノズルを供給する工程、
刃先を持つ革削ぎブレードを供給する工程、
革砥を供給する工程、
革砥研ぎ研磨剤を供給する工程、
前記ライナーの上面と前記囲壁部とが前記型凹部を画定するように、接着剤を使用して前記ライナーの底面と前記型基部とを接着する工程、
装填時間CPの間、前記ノズル開口部を通して前記型凹部に前記硬化性材料を装填する工程であって、
前記装填時間CPが初期段階、転移段階および残段階として区別される三つの個別の段階に分割され、
前記ノズル開口部がある位置を有しており、硬化性材料を型凹部内に溜める際に、その前記ノズル開口部の前記位置が、前記型凹部内の前記硬化性材料の上面の上方に維持されるように、前記装填時間CPの間、型基部に対して前記型凹部の中心軸Caxisに沿って移動し、
前記初期段階の全体にわたって前記ノズル開口部の前記位置が前記ドーナツ穴領域内にあり、
前記転移段階の間、前記ノズル開口部の前記位置が前記ドーナツ穴領域内にある状態から前記ドーナツ領域内にある状態へと転移し、
前記残段階の間、前記ノズル開口部の前記位置が前記ドーナツ領域内にある、工程、
前記型凹部内の前記硬化性材料をケーキへと硬化させる工程、
前記型基部および前記ケーキから前記囲壁部を分離させる工程、
前記革砥研ぎ研磨剤を前記刃先に適用する工程、
前記革削ぎブレードを前記革砥で研ぐ工程、及び
前記革削ぎブレードを使用して前記ケーキを薄く切り出すことによって、溝なしの研磨面を持つ前記研磨層を供給する工程
を含む、工程と;
前記溝なしの研磨面に少なくとも一つの曲線溝を第1の機械加工する工程と;
その後、溝付き研磨面を持つ研磨層を生成するために、前記研磨面にXYグリッドパターンの複数の線形溝を機械加工する工程と;
を含み
前記複数の線形溝は、ステップダウンプロセスによって機械加工され、溝切削工具は、各線形溝を形成するために、複数の連続的な切削パスを作り、前記各連続的な切削パスは、形成される前記線形溝の深さを増大させる
方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
-
化学機械研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-270688
出願人：JSR株式会社
-
研磨パッド窓の処理
公報種別：公表公報
出願番号：特願2012-507436
出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
-
研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-224599
出願人：富士紡ホールディングス株式会社
審査官引用 (3件)
-
化学機械研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-270688
出願人：JSR株式会社
-
研磨パッド窓の処理
公報種別：公表公報
出願番号：特願2012-507436
出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
-
研磨パッドの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-224599
出願人：富士紡ホールディングス株式会社
前のページに戻る
