プラズマ発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 福尾誠 , 石川雅章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-539031
特許番号：特許第6323842号
出願日： 2013年12月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プラズマ(Plasma)を発生させるプラズマ発生モジュールと、前記プラズマ発生モジュールにより発生されたプラズマを外部に吹き出す少なくとも一つのプラズマノズル(Plasma Nozzle)を備え、前記プラズマ発生モジュールとは別個に形成されて前記プラズマ発生モジュールの外側に回転可能に配置される回転体と、を含み、前記プラズマ発生モジュールは、中央領域に配置される高電圧電極(High Voltage Electrode)と、前記高電圧電極の周辺に配置され、前記高電圧電極に印加される電源が帯電されて高圧のアークを発生させる接地電極(Counter Electrode)と、前記高電圧電極と前記接地電極との間に形成され、放電ヘッド側に圧縮空気またはガスが注入されるガス注入部(Gas Inlet)と、を含み、前記接地電極は、円筒状を有する第1接地電極と、漏斗状の形状を有し、前記第1接地電極と着脱可能に結合される第2接地電極と、を含み、前記回転体は、前記プラズマ発生モジュールの外側に回転可能に配置されるローター(Rotor) を備え、前記放電ヘッドは、前記ローターの端部に着脱可能に結合されることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (1件)：

H05H 1/34 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H05H 1/34

引用特許：

審査官引用 (6件)

ベアリングシール
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-178958 出願人：内山工業株式会社
プラズマノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-206589 出願人：アグロダインホックスパヌングステクニックゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
プラズマ・ジェットにより部品表面の前処理および/または後処理をするためのデバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-187232 出願人：インプロイノヴェーションズゲゼルシャフトフューアフォルトゲシュリッテネプロドゥクツィオーンスズュステームインデーアファールツォイクインドゥストリーエムベーハー

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