特許
J-GLOBAL ID：201803000975877162

測定装置、光学式センサ、測定方法及びプログラム

発明者：
丸山 真幸

丸山 真幸 について

, 
和田 智之

和田 智之 について

, 
斎藤 徳人

斎藤 徳人 について


出願人/特許権者：
国立研究開発法人理化学研究所

国立研究開発法人理化学研究所 について


代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-254494
公開番号（公開出願番号）：特開2018-105796
出願日： 2016年12月27日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
要約：
【課題】測定精度が、対象物体からの光を受光する複数の受光素子の解像力の影響を受け難い測定装置を提供する。【解決手段】測定装置は、対象物からの光を検出するための受光部130に対する、対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる制御部と、受光部130が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、対象物の形状を測定する測定部とを備える。対象物の形状を光により測定する測定方法は、対象物からの光を検出するための受光部130に対する、対象物に入射する光及び対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる段階と、受光部130が対象物からの光を検出した場合の光路に基づいて、対象物の形状を測定する段階とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
対象物の形状を光により測定する測定装置であって、 前記対象物からの光を検出するための受光部に対する、前記対象物に入射する光及び前記対象物からの光の少なくとも一方の光路を変化させる制御部と、 前記受光部が前記対象物からの光を検出した場合の前記光路に基づいて、前記対象物の形状を測定する測定部と を備える測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (1件)：
G01B11/24 A
Fターム (42件)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065CC40 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF43 ,  2F065FF65 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL13 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065LL57 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR06 ,  2F112AA06 ,  2F112AA08 ,  2F112AA09 ,  2F112CA08 ,  2F112CA12 ,  2F112CA13 ,  2F112CA14 ,  2F112DA10 ,  2F112DA15 ,  2F112DA32 ,  2F112FA03 ,  2F112FA21 ,  2F112FA39 ,  2F112FA45
引用特許：
審査官引用 (4件)
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