アルミニウム膜被着方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 蛯谷厚志 , 出野知 , 胡田尚則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-030825
公開番号（公開出願番号）：特開2012-167370
特許番号：特許第6317056号
出願日： 2012年02月15日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】薄いシリコンウエハである基材上にアルミニウム膜又はアルミニウム合金膜をスパッタリングにより被着させる方法であって、 (a)基材を支持体上に配置すること、 (b)前記基材を固定していない状態で前記基材上にアルミニウム又はアルミニウム合金の第1層を0.5μm以上被着させること、 (c)前記基材を前記支持体に固定し、そして前記第1層より厚いアルミニウム又はアルミニウム合金の第2層を22°C未満の基材温度で、前記第1層に連続して被着させること、を含むアルミニウム膜又はアルミニウム合金膜被着方法。

IPC (3件)：