特許

J-GLOBAL ID：201803001963857650

真空ポンプシステム

発明者： ドライフェルト,トーマス ,  ミュラー,ローランド ,  ペリカン,マックス ,  シラー,ディルク ,  シュナイデンバッハ,ダニエル ,  ストラットマン,ディルク
出願人/特許権者： レイボルド ゲーエムベーハー
代理人 (2件)： 河野 英仁 ,  河野 登夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-556800
公開番号（公開出願番号）：特表2018-518623
出願日： 2016年06月20日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【解決手段】真空ポンプシステム(4, 5, 6) は、互いに並列に連結されて入口側でチャンバ(40, 50, 60)と夫々連結されている複数の真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62)と、真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62)の出口側で連結されている出口ライン(41)と、少なくとも1つの真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62)の入口側を出口ライン(41)に連結している中間ライン(42)とを備えており、送出時間中、全ての真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62)は並列に連結されており、休止時間中、真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62)の少なくとも1つはバッキングポンプとして他の真空ポンプと直列に連結されている。

請求項（抜粋）：

真空ポンプシステム(4, 5, 6) であって、 互いに並列に連結されて、入口側でチャンバ(40, 50, 60)と夫々連結されている複数の真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) と、 前記真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) の出口側と連結されている出口ライン(41, 51, 61)と、 少なくとも1つの真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) の入口側を前記出口ライン(41)に連結している中間ライン(42, 52)と を備えており、 送出時間中、全ての真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) は並列に連結されており、休止時間中、前記真空ポンプ(P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62)の少なくとも1つの入口側は、バッキングポンプとして残りの真空ポンプの出口側に連結されていることを特徴とする真空ポンプシステム。

IPC (3件)：

F04B 37/16 ,  F04C 25/02 ,  F04C 28/02

FI (3件)：

F04B37/16 D ,  F04C25/02 K ,  F04C28/02

Fターム (19件)：

3H076AA01 ,  3H076AA16 ,  3H076AA21 ,  3H076AA38 ,  3H076AA39 ,  3H076BB21 ,  3H076BB31 ,  3H076CC82 ,  3H076CC94 ,  3H076CC95 ,  3H076CC97 ,  3H129AA06 ,  3H129AA18 ,  3H129AB06 ,  3H129BB42 ,  3H129BB51 ,  3H129CC13 ,  3H129CC23 ,  3H129CC82

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 吸引システムおよび吸引方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-243613   出願人：オリオン機械株式会社
• エネルギー消費を制限しながら、エンクロージャを迅速に排気すること
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-101399   出願人：アルカテル