特許
J-GLOBAL ID：201803002122616850

研削装置

発明者：
松原 壮一

松原 壮一 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-144143
公開番号（公開出願番号）：特開2018-012179
出願日： 2016年07月22日
公開日（公表日）： 2018年01月25日
要約：
【課題】研削される板状ワークの種類が変更されても所定の厚みに至るまで研削できるようにする。【解決手段】研削装置1は、砥石回転手段で研削ホイール15を回転させ板状ワークWを研削する研削手段10と被研削面Waに電極Weが露出したことを判断する判断手段30とを備え、判断手段30は、研削砥石16で電極Weを研削していないときに負荷電流値検出手段112が検出した負荷電流値を記憶する記憶部と負荷電流値に予め設定された係数を掛けて電極Weが被研削面Waに露出したときの基準負荷電流値として設定する設定部と基準負荷電流値に研削中の負荷電流値が達したときに被研削面Waに電極Weが露出したと判断する判断部とを備えたため、板状ワークWや研削ホイール15の種類に応じて基準負荷電流値を設定でき、確実に電極Weが被研削面Waに露出するまで板状ワークWを研削できる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
内部に複数の電極を備える板状ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルの中心を軸に該保持テーブルを回転させる保持テーブル回転手段と、研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転軸に装着し該回転軸を中心に該研削ホイールを回転させる砥石回転手段を備え該砥石回転手段で該研削ホイールを回転させ該保持テーブルが保持する板状ワークを研削する研削手段と、該研削手段を該保持テーブルに対して接近及び離間する方向に研削送りする研削送り手段と、該研削手段により研削される板状ワークの被研削面に該電極が露出したことを判断する判断手段と、を備える研削装置であって、 該砥石回転手段は、該回転軸を回転させるモータと、 該モータの負荷電流値を検出する負荷電流値検出手段と、を備え、 該判断手段は、該研削砥石で板状ワークの内部の該電極を研削していないときに該負荷電流値検出手段が検出した負荷電流値を記憶する記憶部と、 該記憶部が記憶した該負荷電流値に予め設定された係数を掛けた値を該電極が板状ワークの被研削面に露出したときの基準負荷電流値として設定する設定部と、 該設定部に設定された該基準負荷電流値に研削中の該負荷電流値が達したときに被研削面に該電極が露出したと判断する判断部と、を備えた研削装置。
IPC (4件)：
B24B 49/16 ,  B24B 49/04 ,  B24B 7/04 ,  H01L 21/304
FI (5件)：
B24B49/16 ,  B24B49/04 Z ,  B24B7/04 A ,  H01L21/304 621C ,  H01L21/304 631
Fターム (26件)：
3C034AA08 ,  3C034BB71 ,  3C034BB87 ,  3C034BB92 ,  3C034CA02 ,  3C034CA13 ,  3C034CA16 ,  3C034CA26 ,  3C034CB14 ,  3C034DD01 ,  3C034DD07 ,  3C034DD10 ,  3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BA12 ,  3C043CC04 ,  3C043DD06 ,  3C043EE00 ,  5F057AA02 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057GA12 ,  5F057GB05 ,  5F057GB13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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