特許
J-GLOBAL ID:201803002478894919

形状計測装置および形状計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): あいわ特許業務法人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-025042
公開番号(公開出願番号):特開2014-153287
特許番号:特許第6236721号
出願日: 2013年02月12日
公開日(公表日): 2014年08月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光源と前記光源からの光によって照射される格子模様が形成された透明性部材と前記格子模様を計測対象物の表面に結像する結像レンズとを有するプロジェクタ部と、前記プロジェクタ部によって前記格子模様が投影された前記計測対象物の表面を撮影する撮像手段とを有し、前記計測対象物の表面の画像を少なくとも一部の撮像領域が重複するように撮像するように配置された第1計測ユニットと第2計測ユニットと、 前記第1計測ユニットによる格子模様の投影および前記計測対象物の表面の撮影と、前記第2計測ユニットによる格子模様の投影および前記計測対象物の表面の撮影とを、切り替えて行わせる制御手段と、 を備えたことを特徴とする第一形状計測ヘッド。
IPC (1件):
G01B 11/25 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01B 11/25 H
引用特許:
審査官引用 (4件)
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