特許
J-GLOBAL ID：200903060493727441

走査型形状計測機

発明者：
田代 克

田代 克 について


出願人/特許権者：
オプトウエア株式会社

オプトウエア株式会社 について


代理人 (1件)： 田代 克
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-225866
公開番号（公開出願番号）：特開2008-032668
出願日： 2006年07月26日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】表面に凹凸をもつ物体上に光を走査し、反射光を受光して表面上の位置や高さ検査を行う場合、三角測量法では原理的に必ず光を斜めから投射しなければならず測定できないところが多い。また共焦点法で走査を行うものでは対象物または測定側の高さを変えてくりかえし測定するため時間がかかるという問題がある。分光情報を用いる例では多数のホトダイオードデータを読むのに時間がかかり光による高速走査に適さないという問題点があった。【解決手段】複数の波長を含む点光源と、点光源からの光を走査する光走査機と、色収差を持つレンズと、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するPSDまたは位置検出型光電子増倍管とを具備するものとした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の波長を含む点光源と、軸上色収差を発生するレンズと、光を角度走査する光走査機と、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するPSDまたは位置検出型光電子増倍管とを具備することを特徴とする走査型形状計測機。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G02B 26/10
FI (3件)：
G01B11/24 A ,  G02B26/10 B ,  G02B26/10 E
Fターム (29件)：
2F065AA06 ,  2F065AA51 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065EE00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL15 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL62 ,  2F065LL67 ,  2F065MM16 ,  2H045BA24 ,  2H045BA32 ,  2H045CA63 ,  2H045CB24 ,  2H045DA02
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM