3軸磁気センサ、連結モジュール、及びセンサプローブ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：畠山文夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-190766
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054461
出願日： 2016年09月29日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：

【課題】細長い器具の位置や曲がりの検出が可能な3軸磁気センサ、並びに、これを用いた連結モジュール及びセンサプローブを提供すること。【解決手段】3軸磁気センサ10aは、コの字型に折り曲げられたフレキシブル基板20aと、各面にそれぞれ実装された3個のセンサ基板40a〜40cと、フレキシブル基板20aを保持するためのホルダ50aとを備えている。センサ基板40a〜40cは、センサ素子の感磁方向が互いに非平行となるように、フレキシブル基板20aに実装されている。ホルダ52aは、貫通穴52と、貫通穴52の周囲に設けられたコの字型の載置部54とを備え、フレキシブル基板20aは載置部54に載置されている。連結モジュールは、2個以上の3軸磁気センサを一方向に並べ、リード線で繋いだものからなる。センサプローブは、このような3軸磁気センサ又は連結モジュールをカバー内に挿入したものからなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

以下の構成を備えた3軸磁気センサ。 (1)前記3軸磁気センサは、コの字型に折り曲げられた3個の平板部を持つフレキシブル基板と、前記3個の平板部にそれぞれ実装された3個のセンサ基板と、前記フレキシブル基板を保持するためのホルダとを備えている。 (2)前記センサ基板は、それぞれ、センサ素子を備え、前記センサ基板は、前記センサ素子の感磁方向が前記平板部の面内方向にあり、かつ、感磁方向が互いに非平行となるように、前記平板部に実装されている。 (3)前記ホルダは、軸方向に沿って貫通している貫通穴と、前記貫通穴の周囲に設けられたコの字型の載置部とを備え、前記フレキシブル基板は、前記載置部に載置されている。

IPC (4件)：

G01R 33/02 , G01R 33/09 , H01L 43/08 , H01L 43/10

FI (5件)：

G01R33/02 U , G01R33/06 R , G01R33/02 L , H01L43/08 M , H01L43/10

Fターム (17件)：

2G017AA03 , 2G017AC06 , 2G017AD53 , 2G017AD55 , 2G017BA05 , 5F092AA13 , 5F092AB01 , 5F092AC06 , 5F092AC12 , 5F092AD08 , 5F092BB33 , 5F092BB34 , 5F092BB35 , 5F092BB42 , 5F092BC33 , 5F092BC39 , 5F092FA08

引用特許：

審査官引用 (7件)

センサ素子の三次元配置構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045441 出願人：セイコー電子工業株式会社
3軸方位センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-190591 出願人：日立金属株式会社
磁気センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-045817 出願人：大同特殊鋼株式会社

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