特許
J-GLOBAL ID:201803002683302625

邪魔板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人朝日特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-244447
公開番号(公開出願番号):特開2018-098450
出願日: 2016年12月16日
公開日(公表日): 2018年06月21日
要約:
【課題】旋回流または放射流を形成して負圧を発生させることで被吸引物を吸引する流体流形成体に着脱可能に取り付けられる邪魔板本体を備える邪魔板を提供する。【解決手段】旋回流形成体1に取り付けられる邪魔板2は、旋回流形成体1から着脱可能なように設けられる邪魔板本体21であって、旋回流形成体1が発生させる負圧により吸引される流体を通しつつ、旋回流形成体1の凹部13内への被吸引物の進入を阻害する邪魔板本体21と、一端側は旋回流形成体1の本体11に固定され、他端側は邪魔板本体21を旋回流形成体1の端面12に対向するように支持する支持部材であって、端面12と邪魔板本体21の間に間隙が保持されるとともに、凹部13から流出する流体が流れるための流路が形成されるように邪魔板本体21を支持する支持部材22とを備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
柱状の本体と、 前記本体に形成される平坦状の端面と、 前記端面に形成される凹部と、 前記凹部内に流体の旋回流を形成するか又は前記凹部内に流体を吐出して放射流を形成することにより負圧を発生させて被吸引物を吸引する流体流形成手段と を備える流体流形成体に取り付けられる邪魔板であって、 前記流体流形成体から着脱可能なように設けられ、前記負圧により吸引される流体を通しつつ、前記凹部内への前記被吸引物の進入を阻害する邪魔板本体と、 一端側は前記本体に固定され、他端側は前記邪魔板本体を前記端面に対向するように支持する支持部材であって、前記端面と前記邪魔板本体の間に間隙が保持されるとともに、前記凹部から流出する流体が流れるための流路が形成されるように前記邪魔板本体を支持する支持部材と を備えることを特徴とする邪魔板。
IPC (2件):
H01L 21/677 ,  B65G 49/07
FI (2件):
H01L21/68 C ,  B65G49/07 H
Fターム (8件):
5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131CA70 ,  5F131DB25 ,  5F131DB27 ,  5F131DB32 ,  5F131FA14 ,  5F131FA32
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 吸引装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2015-041426   出願人:株式会社ハーモテック
  • 真空グリッパ装置
    公報種別:公表公報   出願番号:特願2014-510247   出願人:コリアニューマチックシステムカンパニー,リミテッド
  • LEDウェハーピッカー
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2012-041551   出願人:エルジーシーエヌエスカンパニーリミテッド, ロボスターカンパニーリミテッド

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