特許

J-GLOBAL ID：201803002928665184

光計測システムおよび光計測方法

発明者： 伊藤 雅英 ,  星野 鉄哉 ,  桜井 健次 ,  渡辺 紀生 ,  青木 貞雄
出願人/特許権者： 国立大学法人 筑波大学
代理人 (3件)： 棚井 澄雄 ,  飯田 雅人 ,  清水 雄一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-204385
公開番号（公開出願番号）：特開2018-066608
出願日： 2016年10月18日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：

【課題】単純な光学系であって、多数の微粒子の形状およびサイズを推定することを可能とする、光計測システムおよび光計測方法を提供する。【解決手段】本発明の光計測システムは、レーザー光源102と、レーザー光源102を用いて微粒子Pに照射するレーザー光L1の集光スポットの形状を、線状となるように調整するレーザー光集光スポット形状調整手段103と、レーザー光L1の集光スポットを、微粒子Pの位置に合うように調整するレーザー光集光スポット位置調整手段104と、レーザー光L1の光軸と直交する軸を中心に、微粒子Pと集光スポットとを相対的に回転させて、微粒子Pに対するレーザー光L1の入射角度を調整するレーザー光入射角度調整手段105と、微粒子Pから散乱される散乱光を利用して、前記微粒子の投影像を表示する微粒子投影像表示手段106と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持台に載置された微粒子に光を照射して、前記微粒子に関する情報を取得する光計測システムであって、 レーザー光源と、 前記レーザー光源を用いて前記微粒子に照射するレーザー光の集光スポットの形状を、線状となるように調整するレーザー光集光スポット形状調整手段と、 前記レーザー光の集光スポットを、前記微粒子の位置に合うように調整するレーザー光集光スポット位置調整手段と、 前記レーザー光の光軸と直交する軸を中心に、前記微粒子と前記集光スポットとを相対的に回転させて、前記微粒子に対する前記レーザー光の入射角度を調整するレーザー光入射角度調整手段と、 前記微粒子から散乱される散乱光を利用して、前記微粒子の投影像を表示する微粒子投影像表示手段と、を備えていることを特徴とする光計測システム。

IPC (4件)：

G01N 21/17 ,  G01N 15/02 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/53

FI (4件)：

G01N21/17 A ,  G01N15/02 C ,  G01N21/27 B ,  G01N21/53 Z

Fターム (25件)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB01 ,  2G059BB06 ,  2G059BB09 ,  2G059CC19 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF02 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01