特許
J-GLOBAL ID:201803003095568046

評価装置及び評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-208616
公開番号(公開出願番号):特開2018-072020
出願日: 2016年10月25日
公開日(公表日): 2018年05月10日
要約:
【課題】膜状体の特性を高い精度で評価することが可能な評価装置及び評価方法を提供する。【解決手段】評価装置の導波部材4は、電磁波を反射させる一対の反射面50,60を有する。一対の反射面50,60は、所定方向において互いに対向することにより導波路40を形成している。導波路40は、その一部に、厚さ方向が所定方向と直交しないように膜状体Mを配置する膜状体配置部42を有している。【選択図】図5
請求項(抜粋):
膜状体の特性を評価する評価装置であって、 電磁波を発信する発信部と、 前記発信部が発信した電磁波を受信する受信部と、 前記発信部と前記受信部との間に配置され、前記発信部が発信した電磁波を前記受信部側に導く導波路を内部に有する導波部材と、 前記受信部によって受信された電磁波に基づいて所定の演算を行うことにより、膜状体の特性を導出する演算部と、を備え、 前記導波部材は、電磁波を反射させる一対の反射面を有し、 前記一対の反射面は、所定方向において隙間を隔てて互いに対向することにより前記導波路を形成し、 前記導波路は、その一部に、厚さ方向が前記所定方向と直交しないように膜状体を配置する膜状体配置部を有していることを特徴とする評価装置。
IPC (1件):
G01N 21/358
FI (1件):
G01N21/3586
Fターム (8件):
2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059HH05 ,  2G059JJ14 ,  2G059KK10 ,  2G059LL02
引用特許:
審査官引用 (2件)

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