特許
J-GLOBAL ID：201803003414045043
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 津田 理
, 鈴木 守
, 加藤 真司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-122042
公開番号（公開出願番号）：特開2014-239012
特許番号：特許第6267445号
出願日： 2013年06月10日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子又は電磁波の何れかをビームとして発生させるビーム発生手段と、
ワーキングチャンバ内において可動ステージ上に保持された検査対象に、前記ビームを導き照射する1次光学系と、
前記検査対象から発生した二次荷電粒子を検出する2次光学系と、
検出された前記二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系と、
前記可動ステージを駆動させるリニアモータと、
前記可動ステージを駆動させるときに前記リニアモータから発生する磁場を相殺するための磁場を発生させるヘルムホルツコイルと、
前記可動ステージを駆動させるための前記リニアモータの駆動電流を検出する電流検出手段と、
前記電流検出手段により検出された前記リニアモータの駆動電流に応じて、前記ヘルムホルツコイルから発生させる磁場の強度を制御する磁場制御手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
H01J 37/20 D
, H01J 37/20 Z
, H01J 37/28 B
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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