特許
J-GLOBAL ID：201803003589813825
剥離乾燥装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
, 五十嵐 孝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-212490
公開番号（公開出願番号）：特開2014-090167
特許番号：特許第6321937号
出願日： 2013年10月10日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を剥離乾燥させるための装置であって、
基板を受け入れるためのチャンバと、
前記チャンバ内で前記基板を支えてクランプするためのチャックと、
前記基板の温度を制御するための温度コントローラであって、前記基板を冷却することによって前記基板上の液体状の乾燥化学剤を凍結させることができる温度コントローラと、
前記チャンバと流体接続している真空ポンプと、
前記チャックを少なくとも90度傾動させることによって前記凍結した乾燥化学剤を前記基板から剥離させて除去させることができる傾動メカニズムと、
を備える装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/304 651 Z
, H01L 21/304 651 K
, H01L 21/304 651 B
, H01L 21/02 Z
