特許
J-GLOBAL ID：201803003708977718
白色干渉装置及び白色干渉装置の計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-184638
公開番号（公開出願番号）：特開2018-048914
出願日： 2016年09月21日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：
【課題】測定対象物の厚みと屈折率とを同時に測定可能な白色干渉装置及びこの白色干渉装置の計測方法を提供する。【解決手段】白色光源から出射した白色光を測定光と参照光とに分割する光分割部と、光分割部と、測定光路に配置された測定対象物との間の測定光の距離を変化させる距離変化部と、距離変化部による距離の変化が実行されている場合に干渉信号を検出する干渉信号検出部と、測定対象物の第1面に測定光の焦点が合う第1距離と、測定対象物の第2面に測定光の焦点が合う第2距離と、を検出する第1検出部と、第1面で反射された測定光に対応する干渉信号のピークが検出される第3距離と、第2面で反射された測定光に対応する干渉信号のピークが検出される第4距離と、を検出する第2検出部と、測定対象物の屈折率、及び厚みを演算する演算部と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
白色光を出射する白色光源と、
前記白色光源から出射した前記白色光を測定光と参照光とに分割して、前記測定光を測定光路に出射し、且つ前記参照光を参照光路に出射する光分割部と、
前記光分割部と、前記測定光路に配置された測定対象物との間の前記測定光の距離を変化させる距離変化部と、
前記測定対象物にて反射された前記測定光と、前記参照光路を経た前記参照光との干渉信号を検出する干渉信号検出部であって、且つ前記距離変化部による前記距離の変化が実行されている場合に前記干渉信号を検出する干渉信号検出部と、
前記干渉信号検出部が検出した前記距離ごとの前記干渉信号に基づき、前記測定対象物の前記測定光が入射する側の第1面に前記測定光の焦点が合う第1距離と、前記測定対象物の前記第1面とは反対側の第2面に前記測定光の焦点が合う第2距離と、を検出する第1検出部と、
前記干渉信号検出部が検出した前記距離ごとの前記干渉信号に基づき、前記第1面で反射された前記測定光に対応する前記干渉信号のピークが検出される第3距離と、前記第2面で反射された前記測定光に対応する前記干渉信号のピークが検出される第4距離と、を検出する第2検出部と、
前記第1検出部及び前記第2検出部の双方の検出結果に基づき、前記測定対象物の屈折率、及び前記測定対象物の前記第1面と前記第2面との間の厚みを演算する演算部と、
を備える白色干渉装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/45 Z
, G01B11/02 H
2F065AA30
, 2F065BB17
, 2F065BB22
, 2F065CC31
, 2F065FF52
, 2F065GG24
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059HH02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059MM01
