特許
J-GLOBAL ID：201403021616267500
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-249163
公開番号（公開出願番号）：特開2014-098572
出願日： 2012年11月13日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
要約：
【課題】面の三次元形状を高速かつ高精度に測定することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】低コヒーレンス光源12から放射された低コヒーレンス光は、コリメータ16を介してビームスプリッタ18に入射され、ビームスプリッタ18によって測定光と参照光とに分割される。測定光はテレセントリック光学系20によって拡大、平行化されて測定対象物Oに照射される。測定対象物Oで反射した測定光は、ビームスプリッタ18によって、CCPで反射した参照光と一つに合わされて干渉し、光検出器24に入射される。光検出器24は、受光素子をマトリクス状に配列して構成される。光検出器24の各受光素子で検出される干渉光の光強度に基づいて測定光が照射された部位の三次元形状が測定される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象物の面の三次元形状を測定する形状測定装置であって、
低コヒーレンス光を放射する光源と、
前記光源から放射される前記低コヒーレンス光を平行光に変換するコリメート光学系と、
前記コリメート光学系によって平行光にされた前記低コヒーレンス光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
前記光分割手段から出射される前記参照光を反射する参照光反射体と、
前記参照光反射体を移動させて前記参照光の光路長を変更する参照光路長変更手段と、
前記参照光反射体の位置を検出する参照光反射体位置検出手段と、
前記光分割手段から出射される前記測定光を拡大かつ平行化し、前記測定対象物に照射するテレセントリック光学系と、
前記参照光反射体で反射される前記参照光と前記測定対象物で反射される前記測定光とを一つに合わせて干渉させる光干渉手段と、
受光素子がマトリクス状に配列されて構成され、前記光干渉手段から出射される前記測定光と前記参照光との干渉光を受光する光検出手段と、
前記受光素子ごとに前記干渉光の強度が最大となるときの前記参照光反射体の位置を検出して、前記測定光が照射された前記測定対象物の面の三次元形状を算出する演算手段と、
を有する形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (42件)：
2F064AA09
, 2F064CC04
, 2F064EE02
, 2F064FF03
, 2F064FF07
, 2F064GG02
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG52
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ03
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF16
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065FF67
, 2F065GG01
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG21
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL17
, 2F065LL46
, 2F065LL59
, 2F065MM03
, 2F065MM07
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ29
, 2F065UU07
