特許
J-GLOBAL ID：201803003730511161
ガス電子増幅モジュール
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 鈴木 三義
, 勝俣 智夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-219707
公開番号（公開出願番号）：特開2018-078042
出願日： 2016年11月10日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
要約：
【課題】容易に実装可能で、一体化したガス電子増幅モジュールを提供する。【解決手段】ガス電子増幅モジュールは、カソード電極と、前記カソード電極に対向する読出し電極と、前記カソード電極と前記読出し電極の間に配設され、前記カソード電極と前記読出し電極を結ぶ方向に貫通する複数の貫通孔を有し、絶縁層と、前記絶縁層の両面に形成された導電層からなるガス電子増幅器用電極と、前記カソード電極、前記読出し電極及び前記ガス電子増幅器用電極を囲むチャンバーと、前記チャンバーの外部と、前記カソード電極、前記読出し電極及び前記ガス電子増幅器用電極と、を電気的に接続可能な接続端子と、を備え、前記チャンバーは封止され、内部に電離ガスが封入されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
カソード電極と、
前記カソード電極に対向する読出し電極と、
前記カソード電極と前記読出し電極の間に配設され、前記カソード電極と前記読出し電極とを結ぶ方向に貫通する複数の貫通孔を有し、無機材料により構成された絶縁層と前記絶縁層の両面に形成された導電層とからなるガス電子増幅器用電極と、
前記カソード電極、前記読出し電極及び前記ガス電子増幅器用電極を囲むチャンバーと、
前記チャンバーの外部と、前記カソード電極、前記読出し電極及び前記ガス電子増幅器用電極と、を電気的に接続する接続端子と、を備え、
前記チャンバーは封止され、内部に電離ガスが封入されている、ガス電子増幅モジュール。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J47/02
, G01T1/18 A
, G01T1/18 D
2G188BB02
, 2G188BB04
, 2G188BB05
, 2G188BB06
, 2G188BB09
, 2G188CC04
, 2G188DD05
, 2G188DD09
, 2G188DD11
, 2G188DD43
, 2G188DD44
, 2G188DD45
, 5C038DD01
, 5C038DD06
, 5C038DD15
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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