特許

J-GLOBAL ID：201803004101550894

酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置

発明者： 宇野 和行 ,  中村 幸
出願人/特許権者： 国立大学法人 和歌山大学
代理人 (1件)： 特許業務法人三枝国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-213949
公開番号（公開出願番号）：特開2018-070422
出願日： 2016年11月01日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：

【課題】高品質な酸化ガリウムの結晶を効率よく製造する技術を提供する。【解決手段】ハロゲン化ガリウム水溶液のミストをキャリアガスとともに結晶成長部に供給し、結晶成長部で酸化ガリウムを作製する工程を含み、前記結晶成長部は周辺部と成長部を含み、成長部の温度が周辺部よりも高温であるコールドウォール構造を有する、酸化ガリウムの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ハロゲン化ガリウム水溶液のミストをキャリアガスとともに結晶成長部に供給し、結晶成長部で酸化ガリウムを作製する工程を含み、前記結晶成長部は周辺部と成長部を含み、成長部の温度が周辺部よりも高温であるコールドウォール構造を有する、酸化ガリウムの製造方法。

IPC (6件)：

C30B 29/16 ,  C30B 25/14 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/448 ,  H01L 21/365

FI (6件)：

C30B29/16 ,  C30B25/14 ,  C23C16/40 ,  C23C16/46 ,  C23C16/448 ,  H01L21/365

Fターム (45件)：

4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077BB10 ,  4G077DB01 ,  4G077DB11 ,  4G077EC01 ,  4G077EC07 ,  4G077EG15 ,  4G077EG22 ,  4G077EG25 ,  4G077TA01 ,  4G077TA04 ,  4G077TA11 ,  4G077TB01 ,  4G077TC01 ,  4G077TD02 ,  4G077TH02 ,  4G077TH06 ,  4G077TH11 ,  4K030AA03 ,  4K030AA18 ,  4K030BA08 ,  4K030BA42 ,  4K030CA05 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030KA23 ,  5F045AA00 ,  5F045AB40 ,  5F045AC05 ,  5F045AC15 ,  5F045AC19 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045AF01 ,  5F045AF09 ,  5F045BB14 ,  5F045DP07 ,  5F045DQ06 ,  5F045EE02 ,  5F045EK06 ,  5F045EK07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透明導電膜および積層構造体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-002541   出願人：株式会社FLOSFIA
• 成膜装置および成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-023488   出願人：株式会社FLOSFIA