特許
J-GLOBAL ID：201803004458840483

搬送システム、露光装置、搬送方法、露光方法及びデバイス製造方法

発明者：
原 英明

原 英明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-107671
公開番号（公開出願番号）：特開2018-146985
出願日： 2018年06月05日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：
【課題】ウエハ等の板状の物体を、平坦度を高く維持した状態で、物体載置部材上に搬送することが可能な搬送システムを提供する。【解決手段】 板状の物体(ウエハW)をウエハホルダが設けられたウエハテーブルWTBに搬送する搬送システムは、ウエハホルダにウエハWを載置する前に、ウエハWの形状を所定の形状に変える調整装置を備え、所定の形状となったウエハWをウエハホルダに載置する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
板状の物体を物体載置部が設けられた物体載置部材に搬送する搬送システムであって、 前記物体載置部に前記板状の物体を載置する前に、前記板状の物体の形状を所定の形状に変える調整装置を備え、 前記所定の形状となった前記板状の物体を前記物体載置部に載置する搬送システム。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (5件)：
G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 K ,  B65G49/07 H
Fターム (87件)：
2H197AA04 ,  2H197AA06 ,  2H197AA09 ,  2H197AA10 ,  2H197AA12 ,  2H197AA24 ,  2H197AB02 ,  2H197CA01 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CD02 ,  2H197CD23 ,  2H197CD31 ,  2H197CD50 ,  2H197DB16 ,  2H197DB31 ,  2H197DC05 ,  2H197DC13 ,  2H197GA01 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA10 ,  5F131AA12 ,  5F131AA13 ,  5F131AA21 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131AA40 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131CA22 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB22 ,  5F131DB27 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB86 ,  5F131EA02 ,  5F131EA06 ,  5F131EA12 ,  5F131EA13 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA16 ,  5F131EA17 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB56 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131EB89 ,  5F131FA17 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131FA37 ,  5F131FA39 ,  5F131JA16 ,  5F131KA03 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KA16 ,  5F131KA17 ,  5F131KA34 ,  5F131KA47 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB42 ,  5F131KB53 ,  5F131KB54 ,  5F131KB55 ,  5F131KB56
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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