特許

J-GLOBAL ID：200903080457365933

基板ホルダ、露光装置及びデバイスの製造方法

発明者： 井上 英也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-307238
公開番号（公開出願番号）：特開2007-114570
出願日： 2005年10月21日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】 基板を基板載置面上に隙間なく密着させることができる基板ホルダを提供する。【解決手段】 外径が500mmよりも大きく、厚さが1.5mmよりも薄い基板Pを載置する基板載置面14と、少なくとも前記基板Pが前記基板載置面14に載置される際に前記基板載置面14の少なくとも一部を振動させる振動部材15とを備える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板を載置する基板載置面と、 前記基板載置面の少なくとも一部を振動させる振動部材とを備えることを特徴とする基板ホルダ。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/683

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503C ,  H01L21/68 P

Fターム (23件)：

2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031DA11 ,  5F031EA18 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA06 ,  5F031GA43 ,  5F031HA05 ,  5F031HA14 ,  5F031HA53 ,  5F031HA56 ,  5F031LA06 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板吸着装置及び基板吸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-240277   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (4件)

• 基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-252569   出願人：株式会社ニコン
• 真空チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-365286   出願人：大西一正
• クリ-ニング機能を有するウエハチャックおよびウエハチャックのクリ-ニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-373801   出願人：キヤノン株式会社
• 基板支持装置および基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-195236   出願人：株式会社ニコン