直交誤差補償を有する角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本田淳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-142647
公開番号（公開出願番号）：特開2014-016351
特許番号：特許第6300395号
出願日： 2013年07月08日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】角速度センサであって、基板と、前記基板に柔軟に結合された駆動質量部と、前記基板の上方に懸垂されるとともに可撓性支持要素を介して前記駆動質量部に柔軟に接続された感知質量部と、前記駆動質量部に関連付けられた第1の電極と、前記感知質量部に関連付けられた第2の電極とを備え、該第2の電極は、前記第1の電極と前記駆動質量部との間の第1の誤差成分が、前記第2の電極と前記感知質量部との間の第2の誤差成分を実質的に相殺するように、前記第1の電極と逆の極性において電気的に結合されている、角速度センサ。

IPC (3件)：