特許
J-GLOBAL ID：201803004788123915

最適化された低エネルギ/高生産性の蒸着システム

発明者：
マイケル・ノーディン

マイケル・ノーディン について

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カール・リーサー

カール・リーサー について

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リチャード・ブランク

リチャード・ブランク について

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ロバート・スカラック

ロバート・スカラック について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-006824
公開番号（公開出願番号）：特開2018-139287
出願日： 2018年01月19日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：
【課題】エネルギ消費を削減することを可能とする基板処理/移送システムおよび方法を提供する。【解決手段】基板処理ツールのための機械式インデクサ204が、第1および第2エンドエフェクタ216、220、224、228を各々が有する第1および第2アーム208、212を備える。第1アームは、第1アームの第1エンドエフェクタを基板処理ツールの複数の処理ステーションに選択的に配置すると共に、第1アームの第2エンドエフェクタを基板処理ツールの複数の処理ステーションに選択的に配置するために、第1スピンドル上で回転するように構成されている。第2アームは、第2アームの第1エンドエフェクタを基板処理ツールの複数の処理ステーションに選択的に配置すると共に、第2アームの第2エンドエフェクタを基板処理ツールの複数の処理ステーションに選択的に配置するために、第2スピンドル上で回転するように構成されている。【選択図】図2A
請求項（抜粋）：
基板処理ツールのための機械式インデクサであって、 第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタを有する第1アームであって、(i)前記第1アームの前記第1エンドエフェクタを前記基板処理ツールの複数の処理ステーションに選択的に配置すると共に、(ii)前記第1アームの前記第2エンドエフェクタを前記基板処理ツールの前記複数の処理ステーションに選択的に配置するために、第1スピンドル上で回転するように構成された、第1アームと、 第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタを有する第2アームであって、(i)前記第2アームの前記第1エンドエフェクタを前記基板処理ツールの前記複数の処理ステーションに選択的に配置すると共に、(ii)前記第2アームの前記第2エンドエフェクタを前記基板処理ツールの前記複数の処理ステーションに選択的に配置するために、第2スピンドル上で回転するように構成された、第2アームと、 を備え、 前記複数の処理ステーションの少なくとも1つは、前記基板処理ツールのロードステーションに対応し、 前記第1アームは、前記第1アームの前記第1エンドエフェクタまたは前記第2エンドエフェクタが前記ロードステーションに配置されると同時に、前記第2アームの前記第1エンドエフェクタまたは前記第2エンドエフェクタが前記ロードステーションに配置されるように、前記第2アームと独立して回転するように構成される、機械式インデクサ。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/02 ,  B25J 9/06
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/02 Z ,  B25J9/06 D
Fターム (23件)：
3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707BS26 ,  3C707CT04 ,  3C707CV07 ,  3C707NS13 ,  4K029AA24 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09 ,  5F131AA02 ,  5F131BA03 ,  5F131BA19 ,  5F131BB04 ,  5F131CA32 ,  5F131CA62 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB57 ,  5F131DB62 ,  5F131DB76
引用特許：
審査官引用 (4件)
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