特許
J-GLOBAL ID:201803005070030419

検査装置、検査方法、検査プログラム、記憶媒体、および検査システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 棚井 澄雄 ,  橋本 宏之 ,  山口 洋 ,  沖田 壮男 ,  荒 則彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-005152
公開番号(公開出願番号):特開2018-115874
出願日: 2017年01月16日
公開日(公表日): 2018年07月26日
要約:
【課題】検査時間を短縮するとともに高精度な検査を行うことが可能な検査装置、検査方法、検査プログラム、記憶媒体、および検査システムを提供する。【解決手段】本発明の一態様の検査装置は、検査対象物の表面温度の時間変化を示すデータを取得する取得部と、前記取得部によって取得された前記表面温度の時間変化を示すデータに対して位相変換を行い、位相値の周波数変化を示すデータを算出する変換部と、前記変換部により算出された前記位相値が、所定周波数以上の周波数領域で示すピークに基づいて、前記検査対象物の欠陥を判定する判定部と、を備える。【選択図】図11
請求項(抜粋):
検査対象物の表面温度の時間変化を示すデータを取得する取得部と、 前記取得部によって取得された前記表面温度の時間変化を示すデータに対して位相変換を行い、位相値の周波数変化を示すデータを算出する変換部と、 前記変換部により算出された前記位相値が、所定周波数以上の周波数領域で示すピークに基づいて、前記検査対象物の欠陥を判定する判定部と、 を備える検査装置。
IPC (1件):
G01N 25/72
FI (1件):
G01N25/72 K
Fターム (8件):
2G040AA06 ,  2G040BA02 ,  2G040BA14 ,  2G040CA02 ,  2G040DA06 ,  2G040EA06 ,  2G040EC04 ,  2G040HA05
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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