特許
J-GLOBAL ID：201803005191135340
多結晶シリコン棒製造用のシリコン芯線および多結晶シリコン棒の製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 片山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-016852
公開番号（公開出願番号）：特開2018-087137
出願日： 2018年02月02日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
要約：
【課題】CVD法によりシリコン芯線上に多結晶シリコンを析出させる際の、スパークの発生等によるシリコン芯線の局部的な溶断や構造的ダメージを防止する技術の提供。【解決手段】芯線ホルダ34(保持部材)は、その下端部が、プラスのテーパー角となるテーパーを有している。一方、シリコン芯線100に通電するための金属電極30と芯線ホルダ34(保持部材)との接続に用いられるアダプタ33(支持部材)は、芯線ホルダ34(保持部材)の下端部を挿入する孔部の内面が、該孔部の開口側を上方とし保持部材の下端部挿入方向を下方としたときに、テーパー角がプラスのテーパーを有している。芯線ホルダ34(保持部材)の下端部は、このアダプタ33(支持部材)の孔部に挿入されてシリコン芯線100が固定される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
多結晶シリコン棒の製造装置であって、
CVD反応により多結晶シリコンを析出させるためのシードとなる断面形状が矩形のシリコン芯線の保持部材を備え、
前記保持部材の開口部の断面は矩形とされ、前記シリコン芯線の端部を挿入する孔部の内面が、該孔部の開口側を上方としシリコン芯線の端部挿入方向を下方としたときに、プラスのテーパー角となるテーパーを有しており、
前記テーパー部のテーパー角が0.5729°以上で5.725°以下で、かつ、前記テーパー部のテーパー長が20mm以上で100mm以下であり、
前記シリコン芯線の表面に多結晶シリコンの析出速度が13〜15μm/分の範囲となるように原料ガスを供給するノズルを備えている、
多結晶シリコン棒の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (30件)：
4G072AA01
, 4G072BB01
, 4G072BB03
, 4G072BB12
, 4G072GG01
, 4G072GG03
, 4G072GG04
, 4G072HH09
, 4G072JJ01
, 4G072MM01
, 4G072NN01
, 4G072NN14
, 4G072RR04
, 4G072RR11
, 4G072RR21
, 4G072UU01
, 4G072UU02
, 4K030AA03
, 4K030AA17
, 4K030BA29
, 4K030BB03
, 4K030CA04
, 4K030CA13
, 4K030EA04
, 4K030FA10
, 4K030GA02
, 4K030JA01
, 4K030JA10
, 4K030JA17
, 4K030KA46
