化学蒸着システムのためのチャックおよびその関連方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小野新次郎 , 小林泰 , 竹内茂雄 , 山本修 , 田上靖子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-547594
公開番号（公開出願番号）：特表2014-504582
出願日： 2011年12月23日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
要約：

本発明は、化学蒸着中に作られるロッドを支持するウェルを有するチャックを提供する。このチャックはウェルの周りにスラットおよびウィンドウを使用し、これらのスラットおよびウィンドウのところを上限としてロッドが成長することができ、支持され得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェルおよびフィラメントチャネルを備える第1のセクションと、電極チャネルを有する第2のセクションとを備えるチャック。

IPC (2件)：

C01B 33/035 , C23C 16/46

FI (2件)：

C01B33/035 , C23C16/46

Fターム (18件)：

4G072AA01 , 4G072GG03 , 4G072GG04 , 4G072NN13 , 4G072NN14 , 4G072NN30 , 4G072UU02 , 4K030BA29 , 4K030BB03 , 4K030CA13 , 4K030EA03 , 4K030FA10 , 4K030GA02 , 4K030JA10 , 4K030KA18 , 4K030KA24 , 4K030KA45 , 4K030LA16

引用特許：

審査官引用 (4件)

盛り上げられた縁部を有する円錐状黒鉛電極
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-057970 出願人：ワッカーケミーアクチエンゲゼルシャフト
水素不透過性外側被覆層を有する黒鉛製チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平2-418276 出願人：アドバンスドシリコンマテリアルズインコーポレイテッド
多結晶質シリコンの製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイトチャックおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-230585 出願人：ユーカーカーボンテクノロジーコーポレーション

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