X線分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉本力 , 新宅将人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-268678
公開番号（公開出願番号）：特開2015-125043
特許番号：特許第6244897号
出願日： 2013年12月26日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線管球によりX線を発生させるX線発生装置から発生されるX線を用いて試料の分析を行うX線分析装置であって、前記X線発生装置は、前記X線管球の冷却にヒートポンプを用い、当該ヒートポンプからの排熱を前記X線分析装置に備えられた前記X線管球以外の部分の加熱に用いることを特徴とするX線分析装置。

IPC (2件)：