特許
J-GLOBAL ID：201803006372559890
磁気抵抗素子、磁気検出装置、及び磁気抵抗素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-177860
公開番号（公開出願番号）：特開2018-046061
出願日： 2016年09月12日
公開日（公表日）： 2018年03月22日
要約：
【課題】磁化方向が面内方向とは異なる方向に設定された固定層の着磁を安定的に行う。【解決手段】磁気抵抗素子1は、主面21を有する基板2と、主面21と平行な面内方向に電流を通流可能に主面21に沿って形成された導電性部分であって主面21と直交する面直方向における所定範囲に設けられた配線部4と、主面21と非平行な第一の磁化容易軸方向に磁化方向が固定された強磁性体層であって面直方向にて占める範囲が所定範囲と重複するように主面21に沿って設けられ且つ面内方向にて配線部4と所定間隔をおいて隣接配置された固定層33と、第二の磁化容易軸方向を有し外部磁界に応じて磁化方向が可変な強磁性体層であって面直方向に基板2及び固定層33と積層された自由層35と、を備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
主面(21)を有する基板(2)と、
前記主面と平行な第一面内方向(Y)に電流を通流可能に前記主面に沿って形成された導電性部分であって、前記主面と直交する面直方向(Z)における所定範囲(Z1)に設けられた配線部(4)と、
前記主面と非平行な第一の磁化容易軸方向に磁化方向が固定された強磁性体層であって、前記面直方向にて占める範囲が前記所定範囲と重複するように前記主面に沿って設けられ、前記主面と平行で前記第一面内方向と直交する第二面内方向(X)にて前記配線部と所定間隔をおいて隣接配置された固定層(33)と、
第二の磁化容易軸方向を有し外部磁界に応じて磁化方向が可変な強磁性体層であって、前記面直方向に前記基板及び前記固定層と積層された自由層(35)と、
を備えた磁気抵抗素子(1)。
IPC (4件)：
H01L 43/08
, H01L 43/12
, G01R 33/09
, H01F 10/08
H01L43/08 Z
, H01L43/12
, G01R33/06 R
, H01F10/08
2G017AA01
, 2G017AD55
, 2G017BA05
, 2G017BA09
, 5E049AA04
, 5E049BA16
, 5E049CB02
, 5E049DB14
, 5F092AA15
, 5F092AB01
, 5F092AC12
, 5F092AD03
, 5F092AD23
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB43
, 5F092BB55
, 5F092BC04
, 5F092BC12
, 5F092CA23
, 5F092EA01
, 5F092EA08
