特許
J-GLOBAL ID：201803006457059390

質量分析/質量分析データを並列取得するための方法および装置

発明者：
ポール イー.ラーソン

ポール イー.ラーソン について

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ジョン エス.ハモンド

ジョン エス.ハモンド について

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グレゴリー エル.フィッシャー

グレゴリー エル.フィッシャー について

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ロン エム.ヘーレン

ロン エム.ヘーレン について


出願人/特許権者：
アルバック・ファイ株式会社

アルバック・ファイ株式会社 について

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ロン エム.ヘーレン

ロン エム.ヘーレン について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  蛯谷 厚志 ,  小林 良博 ,  吉井 一男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-503267
特許番号：特許第6301907号
出願日： 2013年03月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 質量分析データを取得するための装置であって、該装置は、 第1のビーム中の荷電粒子の流れの荷電粒子をそれらの質量-電荷比に基づき分離するように構成された三連型イオン収束質量分析計(TRIFT分光計)を備え、荷電粒子を質量-電荷スペクトルで検出する、第一次の飛行時間型質量分析計であって、該TRIFT分光計は、イオン銃から試料の表面に走査されたイオンビームによって生成された荷電粒子の、質量-電荷比と、励起源のスキャン位置に基づく基点の空間位置と、基点の深さとを測定するものであり、さらに該TRIFT分光計は、 真空チャンバを提供する、TRIFT分光計ハウジングと、 試料からの第1のビームをもたらすためのイオン銃であって、該第1のビーム中の荷電粒子の流れが、該イオン銃の励起源の1または複数のパルスの各々と対応する部分を含む、イオン銃と、 TRIFT分光計ハウジング内の第1、第2、及び第3の静電分析器であって、該静電分析器は、それぞれ第1のビームを90度ターンさせ、荷電粒子の流れを第3の静電分析器の後の狭いウエストに収束させ、収束させた荷電粒子の流れは、該流れの荷電粒子の質量を決定するための到着時間を与えるTRIFT分光計検出器へと続くように構成されている、第1、第2、及び第3の静電分析器と、 を備えたものである、第一次の飛行時間型質量分析計; 並びに、 TRIFT分光計ハウジング内に備えられ、第3の静電分析器の後であって前記狭いウエストにおける第1のビームの荷電粒子の流れ内に位置する、選択装置であって、前記荷電粒子の流れから前駆イオンの質量範囲を選択するように構成された、選択装置; 並びに、 RIFT分光計ハウジング内の活性化装置であって、第一次の質量分析計が荷電粒子をそれらの質量-電荷比に基づき分離し検出しているのと同じ時間の間に、第1のビームの荷電粒子の流れからの選択された前駆イオンを活性化し、フラグメント化して、フラグメントイオンの流れを作るように構成された、活性化装置; 並びに、 第2の質量分析計の構成要素を取り付けて、TRIFT分光計ハウジングによって提供される真空チャンバからの追加的な光学的経路を提供する、取り付けポートであって、該第2の質量分析計は、前記活性化装置から提供された複数の質量のフラグメントイオンの質量-電荷分析のために構成された、第2の飛行時間型質量分析計を備え、該第2の飛行時間型質量分析計は、 TRIFT分光計ハウジングの外側に取り付けられた集群および加速装置であって、前記活性化装置下流のフラグメントイオンの流れのフラグメントイオンのエネルギーの拡がりを狭小化し、前記活性化装置下流のフラグメントイオンの流れのフラグメントイオンに高い運動エネルギーをもたらす、集群および加速装置と、 TRIFT分光計ハウジングの外側に取り付けられ、前記集群および加速装置の下流の、第2の質量分析計検出器と、 を備えたものである、取り付けポート; を備えた装置であり、 前記第一次の質量分析計が、試料表面への入射エネルギー励起源のディメンジョンによって定義された空間分解能で、空間的に分解された質量分析スペクトル、1以上の空間的に分解された質量分析イメージ、および、1以上の空間的に分解された深さプロフィール、のうちの1または複数を取得するように構成されているものである、 質量分析データを取得するための装置。
IPC (2件)：
H01J 49/00 ( 200 6.01) ,  G01N 27/62 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01J 49/00 ,  G01N 27/62 B
引用特許：
審査官引用 (3件)

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