試料分析方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 渡辺敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-258802
公開番号（公開出願番号）：特開2010-091292
出願日： 2008年10月03日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：

【課題】飛行時間型質量分析器を用いた分析の高感度化と高精度を計る。【解決手段】1次入射粒子としてクラスター粒子を用い、1次入射粒子1パルス当り2次粒子を複数個発生させ、2次粒子を飛行時間型質量分析器18で分析する。デジタルオシロスコープ25により、1次入射粒子をパルス化するパルス化信号を基準時間信号として、2次粒子の検出信号を2次粒子の飛行時間によらず均等な確率で計数する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数個の原子から成るクラスター粒子をパルス化して1次入射粒子として試料に照射する工程と、前記1次入射粒子1パルス当り2個以上生成する2次粒子を飛行時間型質量分析器で分析する分析工程とを有し、前記分析工程では、前記1次入射粒子をパルス化するパルス化信号を基準時間信号として、前記2次粒子の検出信号を飛行時間によらず均等な確率で計数することを特徴とする試料分析方法。

IPC (3件)：

G01N 23/225 , G01N 27/62 , H01J 49/40

FI (3件)：

G01N23/225 , G01N27/62 K , H01J49/40

Fターム (15件)：

2G001AA04 , 2G001BA06 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001CA05 , 2G001DA02 , 2G001FA24 , 2G001GA01 , 2G001GA12 , 2G001KA01 , 2G041CA01 , 2G041DA16 , 2G041FA09 , 2G041FA10 , 2G041GA06

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第4111270号公報
2次粒子分析方法及びそれを用いた表面分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-203716 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 日本原子力研究所

審査官引用 (9件)

飛行時間分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-211558 出願人：株式会社島津製作所
特許第4111270号
表面解析方法および表面解析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-107173 出願人：キヤノン株式会社

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