特許
J-GLOBAL ID：201803006630677584
検査装置および検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
関口 正夫
, 仲野 孝雅
, 祐成 篤哉
, 大阿久 敦子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-217515
公開番号（公開出願番号）：特開2015-078955
特許番号：特許第6259254号
出願日： 2013年10月18日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基体と前記基体を貫通する配線とを有する被検査体に組み合わされて前記被検査体を検査する検査装置であって、
絶縁性材料からなる基板と、前記基板の表面から一部が露出して電気的な接続部を構成するように前記基板中に設けられた第1の電極と、前記基板中に設けられた第2の電極とを有し、
前記第1の電極および前記第2の電極は、互いに平行となる部分を有して離間配置され、電気的に絶縁するように構成されており、前記第1の電極は、前記基板中で、前記接続部が構成される前記基板の表面と垂直な方向に伸びるように設けられることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/02 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
, G01R 31/28 ( 200 6.01)
G01R 31/02
, H05K 3/00 U
, G01R 31/28 H
