特許
J-GLOBAL ID：201803006768793640
摺動部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人前田特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-129449
公開番号（公開出願番号）：特開2013-253291
特許番号：特許第6290525号
出願日： 2012年06月07日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 潤滑油の存在下において相手部材と摺動する摺動面となる表面を有する基材と、
前記表面に設けられた、厚さが0.001μm以上、10μm以下の、水素を含む炭素質膜とを備え、
前記炭素質膜は、試料に対する検出角度を90度としたX線光電子分光測定において得られるC1sピークをカーブフィッティングによりsp3C-Cの結合エネルギーに基づく第1ピーク、sp2C-Cの結合エネルギーに基づく第2ピーク、sp3C-Hの結合エネルギーに基づく第3ピーク、sp2C-Hの結合エネルギーに基づく第4ピークに分解することにより求めた、前記第3ピークの面積と前記第4ピークの面積との和の前記第1ピークの面積と前記第2ピークの面積との和に対する比が0.59未満であり、前記第3ピークの面積の前記第1ピークの面積に対する比が0.57未満であり、前記第4ピークの面積の前記第2ピークの面積に対する比が0.58未満であることを特徴とする摺動部材。
IPC (2件)：
C23C 14/06 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
C23C 14/06 F
, C23C 14/34 R
