特許
J-GLOBAL ID:201803006802984395
積層ソーラーセルの製造方法及び積層ソーラーセルの製造装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
大渕 美千栄
, 布施 行夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-045433
公開番号(公開出願番号):特開2013-219338
特許番号:特許第6277460号
出願日: 2013年03月07日
公開日(公表日): 2013年10月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 第1のソーラーセルと、第2のソーラーセルと、該第1のソーラーセルと該第2のソーラーセルの間に形成され、かつ、導電粒子を含む接着層と、を有する積層体の一方の表面の全体を支持する平坦な支持面を有する支持体を用意する工程と、
前記積層体を袋体内に配置し、該袋体内の気体の一部または全部を脱気する工程と、
前記積層体を圧力容器内に配置する工程と、
前記圧力容器内に高圧ガスを導入し、前記積層体を高圧ガスによって加圧することで前記第1のソーラーセルと前記第2のソーラーセルとを電気的に接合し、かつ、接着する工程と、
を有し、
前記脱気する工程は、前記積層体の前記表面を前記支持体の前記支持面で支持した状態で前記袋体内に配置し、前記袋体内の気体の一部または全部を脱気する工程であり、
前記積層体を前記圧力容器内に配置する工程は、前記袋体内が減圧状態を維持したまま前記積層体を前記圧力容器内に配置し、
前記支持体を用意する工程は、前記支持体を第1の袋体内に配置する第1の工程と、前記第1の袋体内の気体の一部または全部を脱気する第2の工程と、を有し、
前記脱気する工程は、前記支持体の前記支持面が前記第1の袋体を介して前記積層体を支持した状態で行ない、
前記電気的に接合し、かつ、接着する工程の後に、前記第1の袋体を開封して前記第1の袋体内に空気を導入する工程を含むことを特徴とする、積層ソーラーセルの製造方法。
IPC (2件):
H01L 31/043 ( 201 4.01)
, H01L 31/0687 ( 201 2.01)
FI (2件):
H01L 31/04 510
, H01L 31/06 310
引用特許:
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