圧電デバイスおよび超音波装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-181987
公開番号（公開出願番号）：特開2018-046512
出願日： 2016年09月16日
公開日（公表日）： 2018年03月22日
要約：

【課題】圧電デバイスの面積使用効率を向上すること。【解決手段】実施形態にかかる圧電デバイス100は、圧電薄膜102の第1面に設けられた第1電極101と、電極パッド111を備える回路基板112と、回路基板112に対して圧電薄膜102を固定するように、圧電薄膜102における第2面と電極パッド111との間に設けられた柱状の複数の支持体103と、圧電薄膜102の第2面の一部から支持体103の側面を介して電極パッド111に電気的に接続する複数の第2電極104と、を備え、圧電薄膜102と第1電極101と複数の第2電極104とは、それぞれが1つの振動要素である複数のダイアフラム109を構成し、複数の支持体103は、各ダイアフラム109を区画する位置に設けられ、第1電極101は、複数のダイアフラム109で共通に設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電薄膜と、前記圧電薄膜の第1面に設けられた第1電極と、電極パッドを備える基板と、前記基板に対して前記圧電薄膜を固定するように、前記圧電薄膜における前記第1面と反対側の第2面と前記基板における前記電極パッドとの間に設けられた柱状の複数の第1支持体と、前記圧電薄膜の前記第2面の一部から前記第1支持体の側面を介して前記電極パッドに電気的に接続する複数の第2電極と、を備え、前記圧電薄膜と、前記第1電極と、前記複数の第2電極とは、それぞれが1つの振動要素である複数のダイアフラムを構成し、前記複数の第1支持体は、各ダイアフラムを区画する位置に設けられ、前記第1電極は、前記複数のダイアフラムで共通に設けられている圧電デバイス。

IPC (2件)：

H04R 17/00 , A61B 8/14

FI (3件)：

H04R17/00 330H , A61B8/14 , H04R17/00 332A

Fターム (11件)：

4C601GB06 , 4C601GB14 , 4C601GB16 , 4C601GB19 , 4C601GB43 , 4C601GB44 , 5D019AA06 , 5D019BB19 , 5D019BB26 , 5D019BB28 , 5D019FF04

引用特許：

審査官引用 (10件)

空気に支持されたキャビティを有する圧電微小加工超音波振動子
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-558115 出願人：リサーチ・トライアングル・インスティチュート
超音波プローブおよび超音波検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-135522 出願人：セイコーエプソン株式会社
圧電素子アレイの製造方法、圧電素子アレイおよび超音波探触子
公報種別：再公表公報出願番号：JP2010001487 出願人：コニカミノルタエムジー株式会社

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