特許
J-GLOBAL ID：201803007355191010
処理ツールのモニタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
田中 伸一郎
, 弟子丸 健
, ▲吉▼田 和彦
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 山本 泰史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-542399
公開番号（公開出願番号）：特表2018-513547
出願日： 2016年01月13日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
要約：
少なくとも1つの処理ツールをモニタするためのモニタ装置、方法、及びコンピュータプログラム製品を開示する。半導体処理ツールからの排水ストリームの処理中に少なくとも1つの処理ツールをモニタするためのモニタ装置は、排水ストリームの処理中に発生された処理特性データを受信するように作動可能な受信論理部と、処理特性データを少なくとも1つの処理ツールの条件に寄与する寄与期間に関連付けられた寄与処理特性データと条件に寄与しない非寄与期間に関連付けられた非寄与処理特性データとに分別するように作動可能な分別論理部と、条件のステータスを決定する時に寄与処理特性データを利用し、かつ非寄与処理特性データを除外するように作動可能な故障論理部とを含む。このようにして、このツールの条件のステータスを決定する時に、ツールの条件に寄与する期間中に発生されたデータのみが使用される。この条件に寄与しない期間中に発生された他のデータは、ツールの条件のステータスの正確な評価を決定することができるように無視又は省略される。これは、ツールの条件のステータスの正確でより信頼できる評価を与えることを助ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体処理ツールからの排水ストリームの処理中に少なくとも1つの処理ツールをモニタするためのモニタ装置であって、
前記排水ストリームの前記処理中に発生された処理特性データを受信するように作動可能な受信論理部と、
前記処理特性データを前記少なくとも1つの処理ツールの条件に寄与する寄与期間に関連付けられた寄与処理特性データと該条件に寄与しない非寄与期間に関連付けられた非寄与処理特性データとに分別するように作動可能な分別論理部と、
前記条件のステータスを決定する時に前記寄与処理特性データを利用し、かつ前記非寄与処理特性データを除外するように作動可能な故障論理部と、
を含むことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G05B23/02 Z
3C223AA13
, 3C223BA01
, 3C223CC01
, 3C223DD01
, 3C223EB01
, 3C223EB03
, 3C223FF03
, 3C223FF04
, 3C223FF24
, 3C223FF46
, 3C223GG01
, 3C223HH01
