特許
J-GLOBAL ID:201803007463060428
機能転写体及び機能層の転写方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
青木 宏義
, 天田 昌行
, 三輪 正義
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-255929
公開番号(公開出願番号):特開2015-115436
特許番号:特許第6307257号
出願日: 2013年12月11日
公開日(公表日): 2015年06月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 表面に凹凸構造を具備するキャリアと、前記凹凸構造上に設けられた少なくとも1以上の機能層と、を具備し、
前記凹凸構造の平均ピッチは1nm以上1500nm以下であり、
前記機能層の露出する面側の表面粗さ(Ra)と、前記凹凸構造の凸部頂部位置と前記機能層の露出する表面との距離(lor)と、の比率(Ra/lor)が1.2以下であり、
前記機能層に対する炭素元素濃度が、0atm%超60atm%以下であることを特徴とする機能転写体。
IPC (3件):
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, G02B 1/10 ( 201 5.01)
FI (3件):
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 ZNM B
, G02B 1/10
引用特許:
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