特許
J-GLOBAL ID：201803008131850391

円筒型焼結体及びその梱包方法

発明者：
館野 諭

館野 諭 について

, 
長田 幸三

長田 幸三 について

, 
鶴田 好孝

鶴田 好孝 について


出願人/特許権者：
JX金属株式会社

JX金属株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-183617
公開番号（公開出願番号）：特開2018-047922
出願日： 2016年09月21日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：
【課題】スパッタリング中のアーキング発生を抑制することができるスパッタリングターゲットに用いる焼結体を提供すること。【解決手段】円筒型焼結体は、円筒型の焼結体と、焼結体の円周面、側面、および両端の開口部を覆い、ガスが充填された焼結体の中空部を密閉する保護部材と、を有する。また、円筒型焼結体の梱包方法は、焼結体の中空部にガスを充填し、基材の円周面、側面、および両端の開口部を覆い、中空部を密閉するように保護部材を形成する。【選択図】図2A
請求項（抜粋）：
円筒型の焼結体と、 前記焼結体の円周面、側面、および両端の開口部を覆い、ガスが充填された前記焼結体の中空部を密閉する保護部材と、 を有することを特徴とする円筒型焼結体。
IPC (2件)：
B65B 31/04 ,  C23C 14/34
FI (3件)：
B65B31/04 A ,  C23C14/34 A ,  C23C14/34 B
Fターム (8件)：
3E053AA07 ,  3E053BA10 ,  3E053DA02 ,  3E053DA03 ,  3E053FA01 ,  3E053JA08 ,  4K029DC05 ,  4K029DC13
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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