特許
J-GLOBAL ID:201803008950357068
洗浄装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
山崎 行造
, 赤松 利昭
, 尾首 亘聰
, 奥谷 雅子
, 内藤 忠雄
, 今井 千裕
, 武山 美子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-509455
特許番号:特許第6251165号
出願日: 2012年05月03日
請求項(抜粋):
【請求項1】洗浄装置であって、
少なくとも1つの壁を有するタンクであって、前記タンクは、液体を含む内部を画定し、前記壁は前記液体と接触している、タンクと、
超音波エネルギーを前記タンクの前記内部に提供する1つ以上の超音波振動子と、
前記タンクの壁と実質的に平行で前記タンクの前記内部を向いた第1の面パネルであって、前記第1の面パネルは、前記タンクの前記壁に隣接して位置する、第1の面パネルと、前記第1の面パネルと間隔を空けた第2の面パネルとを有し、前記第1の面パネル及び前記第2の面パネルは前記液体と接触し、そして、前記第1の面パネルと前記第2の面パネルとで、空気で満たされ、前記タンク内側の前記液体が入らないよう密封された空洞を形成し、超音波を反射する空気ブランケット反射器と、
を備え、
前記空気ブランケット反射器は、前記タンク内に含まれる液体の表面レベルの上方に延在し、前記空洞の上端にガス抜きを有する、
洗浄装置。
IPC (2件):
B08B 3/12 ( 200 6.01)
, G10K 11/20 ( 200 6.01)
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (6件)
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特開昭58-114782
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超音波反射板を用いた超音波洗浄法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-137048
出願人:日立造船株式会社
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-188140
出願人:島田理化工業株式会社
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超音波基板処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-276707
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-346516
出願人:島田理化工業株式会社
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特開平4-256473
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審査官引用 (8件)
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超音波反射板を用いた超音波洗浄法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-137048
出願人:日立造船株式会社
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-188140
出願人:島田理化工業株式会社
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特開昭58-114782
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超音波基板処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-276707
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-346516
出願人:島田理化工業株式会社
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特開平4-256473
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特開平4-256473
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特開平4-256473
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