特許

J-GLOBAL ID：201803008982109724

蒸気送達装置、その製造方法およびその使用方法

発明者： エグバート・ウォールク ,  ロナルド・エル.ディカルロ,ジュニア
出願人/特許権者： ケレス テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-144094
公開番号（公開出願番号）：特開2014-030015
特許番号：特許第6250318号
出願日： 2013年07月10日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 送達装置、第1の比例バルブ、第2の比例バルブ、物理-化学センサー、圧力センサー、第1の圧力/流量コントローラー、および第2の圧力/流量コントローラーを含む、液体前駆体化合物のための送達システムであって; 前記送達装置は入口ポートおよび出口ポートを有しており; 前記送達装置は前記第1の比例バルブと作動的に連通しており;前記第1の比例バルブは適用される電圧に基づいてキャリアガスのフローを制御するように作動するものであり; 前記物理-化学センサーは前記送達装置の下流に配置されており、かつ前記送達装置から出てくる流体流れの化学的内容を分析するように作動するものであり;前記物理-化学センサーは前記第1の比例バルブと連絡しており; 前記第1の圧力/流量コントローラーは前記物理-化学センサーおよび前記第1の比例バルブと作動的に連絡しており; 前記第2の比例バルブは第2の流れと流体連通し、前記第2の流れは前記送達装置を迂回し、かつ前記送達装置の下流で第1の流れと接触しており; 前記圧力センサーは、前記送達装置の下流に配置され、かつ前記送達装置および前記第2の比例バルブと流体連通しており;並びに 前記第2の圧力/流量コントローラーは前記圧力センサーと作動的に連絡し、前記第2の圧力/流量コントローラーは前記第2の比例バルブと電気的に連絡しており; 前記送達システムはキャリアガスの単位容積あたり実質的に一定のモル数の液体前駆体化合物蒸気を、前記送達システムと連通している複数の反応器に送達するように作動するものであり;前記液体前駆体化合物は前記送達装置内で液体状態である; 液体前駆体化合物のための送達システム。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  C23C 16/448 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/448

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基体上に膜を堆積する方法および気化前駆体化合物を送達する装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-065810   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
• 原料ガス供給装置および原料ガス供給方法および薄膜形成装置およびエピタキシャル成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-085593   出願人：株式会社リコー
• 有機金属供給装置および有機金属気相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-215910   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-078131