特許
J-GLOBAL ID：201803009834775754
2波長正弦波位相変調干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-213751
公開番号（公開出願番号）：特開2015-075461
特許番号：特許第6252089号
出願日： 2013年10月11日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 角周波数ωmの正弦波により位相変調した第1波長λ1の第1光波を生成する第1光波生成部と、
第1波長λ1と異なる第2波長λ2の第2光波であって、前記角周波数ωmの正弦波により位相変調した第2光波を生成する第2光波生成部と、
前記第1光波生成部により生成された第1光波を第1測定光と第1参照光とに分割する第1分割部と、
前記第2光波生成部により生成された第2光波を第2測定光と第2参照光とに分割する第2分割部と、
前記第1分割部により分割された後、測定対象に投光されて反射した第1測定光と、前記第1分割部により分割された第1参照光とを干渉させた第1干渉光の光強度を第1干渉信号として検出する第1干渉信号検出部と、
前記第2分割部により分割された後、前記測定対象に投光されて反射した第2測定光と、前記第2分割部により分割された第2参照光とを干渉させた第2干渉光の光強度を第2干渉信号として検出する第2干渉信号検出部と、
前記第1干渉信号検出部により検出された第1干渉信号に基づいて、第1測定光と第1参照光との位相差φ1の変化量Δφ1に対応する光学的距離D1を前記測定対象の基準位置からの距離として算出する第1光学的距離算出手段と、
前記第2干渉信号検出部により検出された第2干渉信号に基づいて、第2測定光と第2参照光との位相差φ2の変化量Δφ2に対応する光学的距離D2を前記測定対象の基準位置からの距離として算出する第2光学的距離算出手段と、
前記第1光学的距離算出手段と前記第2光学的距離算出手段とにより算出された光学的距離D1と光学的距離D2とに基づいて、前記測定対象の基準位置からの幾何学的距離Dを算出する幾何学的距離算出手段と、
を備え、
前記第1光学的距離算出手段は、前記第1干渉信号の角周波数2・ωmの信号成分に基づいて前記位相差φ1の余弦値を算出し、前記第1干渉信号の角周波数3・ωmの信号成分に基づいて前記位相差φ1の正弦値を算出し、該余弦値及び正弦値の各々をX座標値及びY座標値とする点が原点周りに回転する回転数に基づいて前記光学的距離D1を算出し、
前記第2光学的距離算出手段は、前記第2干渉信号の角周波数2・ωmの信号成分に基づいて前記位相差φ2の余弦値を算出し、前記第2干渉信号の角周波数3・ωmの信号成分に基づいて前記位相差φ2の正弦値を算出し、該余弦値及び正弦値の各々をX座標値及びY座標値とする点が原点周りに回転する回転数に基づいて前記光学的距離D2を算出する2波長正弦波位相変調干渉計。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
