特許
J-GLOBAL ID:201803010133238787
ダイシング用基体フィルム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人三枝国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-202543
公開番号(公開出願番号):特開2015-070092
特許番号:特許第6253327号
出願日: 2013年09月27日
公開日(公表日): 2015年04月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】A層/B層/C層の順に積層されてなるダイシング用基体フィルムであって、
A層は4-メチルペンテン-1を主成分とするポリメチルペンテン系樹脂を85〜100重量%含む樹脂組成物からなり、
B層は非晶性ポリオレフィン及びオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の成分を含む樹脂組成物からなり、
C層は分岐鎖状低密度ポリエチレン及び直鎖状低密度ポリエチレンからなる群から選ばれる少なくとも1種の成分を含む樹脂組成物からなる、
ことを特徴とするダイシング用基体フィルム。
IPC (2件):
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, B32B 27/32 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/78 M
, B32B 27/32 E
引用特許:
出願人引用 (5件)
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ダイシング用基体フイルム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-339849
出願人:グンゼ株式会社
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表面保護フィルム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-004572
出願人:グンゼ株式会社
-
ダイシング用粘着シート
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-000344
出願人:グンゼ株式会社
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審査官引用 (5件)
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