特許
J-GLOBAL ID：201803010946559181
電子画像化可能な液だめまたはより大きな伝導性サンプルのMEMSフレーム加熱プラットフォーム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-511005
公開番号（公開出願番号）：特表2018-533163
出願日： 2016年08月31日
公開日（公表日）： 2018年11月08日
要約：
堅牢なMEMs基板にパターン形成された加熱素子を有する加熱装置。上記加熱装置において、上記加熱素子は、液だめまたはバルク伝導性サンプルから電気的に絶縁されるが、当該サンプルが伝導によって加熱されるように、表面に流体またはサンプルを有する画像化可能な窓/エリアにほぼ近接している。上記加熱装置は、例えば、SEM、TEM、STEM、X線シンクロトロン、走査型プローブ顕微鏡法、および光学顕微鏡法用の顕微鏡サンプルホルダーで使用することができる。
請求項（抜粋）：
(a)少なくとも1つの観察領域と、
(b)上記観察領域を支持し、当該観察領域の側面に位置する熱伝導構造フレームと、
(c)上記熱伝導構造フレームによって支持された少なくとも1つの熱源素子と、を備え、上記少なくとも1つの熱源素子は、上記少なくとも1つの観察領域の側面に位置するが、当該少なくとも1つの観察領域に接触せず、
上記熱伝導構造フレームは、上記少なくとも1つの熱源素子によって加熱されることを特徴とする装置。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, G01N 25/00
, G01N 23/225
, G01N 23/220
H01J37/20 E
, H01J37/20 Z
, H01J37/20 A
, G01N25/00 K
, G01N23/2251
, G01N23/2204
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001BA11
, 2G001CA03
, 2G001HA13
, 2G001JA14
, 2G001MA01
, 2G001MA02
, 2G001QA01
, 2G040BA02
, 2G040BA08
, 2G040BA24
, 2G040BA25
, 2G040CA01
, 2G040CA05
, 2G040CA12
, 2G040CA13
, 2G040CA21
, 2G040DA03
, 2G040EA02
, 2G040EA14
, 2G040EB02
, 2G040FA01
, 2G040GA07
, 2G040ZA01
, 5C001AA01
, 5C001BB01
, 5C001BB07
, 5C001CC01
, 5C001CC04
