顕微鏡支持構造体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲葉良幸 , 大貫敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-507688
公開番号（公開出願番号）：特表2010-527123
出願日： 2008年05月09日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】観察領域における温度上昇及び/又は気体及び/又は液体のようなある物理的又は化学的な状態に暴露された環境セルの試料の撮像を実現する。【解決手段】電子顕微鏡支持構造体ならびにその製造及び使用方法。支持構造体は、半導体材料及び半導体製造プロセスを使用して一般に構成される。支持構造体の温度を制御することが可能であり、及び/又は気体又は液体を反応及び/又は撮像用の観察領域に閉じ込めることが可能である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：