特許
J-GLOBAL ID：201803011189537252
金属化合物結晶性膜およびその製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 小林 良博
, 蛯谷 厚志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-154759
公開番号（公開出願番号）：特開2018-020946
出願日： 2016年08月05日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
要約：
【課題】本発明によれば、低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属酸化物等の金属化合物結晶性膜を提供する。【解決手段】面内に異方性を有し、かつ表面が非晶質である基板上の金属化合物結晶性膜であって;化合物が酸化物または窒化物であり;かつ面内結晶方位の分散が30度以下の擬単結晶であることを特徴とする金属化合物結晶性膜。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
面内に異方性を有し、かつ表面が非晶質である基板上の金属化合物結晶性膜であって;化合物が酸化物または窒化物であり;かつ面内結晶方位の分散が30度以下の擬単結晶であることを特徴とする金属化合物結晶性膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
4G077AA03
, 4G077AA07
, 4G077AB02
, 4G077BB10
, 4G077BE11
, 4G077BE15
, 4G077CA08
, 4G077CC04
, 4G077CC06
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077EE05
, 4G077LA01
, 4G077LA05
