特許
J-GLOBAL ID：201803011190702470
ビーム走査システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
川口 嘉之
, 平川 明
, 今堀 克彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-555308
特許番号：特許第6224009号
出願日： 2013年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プローブ顕微鏡のプローブを照射するための装置であって、
放射ビームを受信しそれを前記プローブ上に方向付けるように構成されたレンズと、
前記レンズの光軸に相対的な、前記ビームが前記レンズに進入する入射角度を時間とともに変化させるための走査システムと、
を備え、
前記ビームは、反射された検出ビームを生成するために前記プローブから反射される検出ビームであり、
前記装置は、更に、前記反射された検出ビームを前記プローブから受信し前記反射された検出ビームから前記プローブの移動を検出するように構成された検出システムを備え、
前記レンズは、作動放射ビームを受信しそれを前記プローブ上に方向付けるようにも構成され、
前記装置は、更に、前記作動放射ビームの強度を変調させるための変調システムを備え、
前記走査システムは、前記検出ビーム及び前記作動放射ビームの両方を前記レンズに向かって反射させるビーム操縦ミラーと、前記ビーム操縦ミラーを回転させるためのミラーアクチュエータとを含む、
装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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