特許

J-GLOBAL ID：200903052889491804

固有振動可変型のカンチレバーによる測定対象物の計測方法および装置

発明者： 川勝 英樹
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-120492
公開番号（公開出願番号）：特開2005-331509
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】 カンチレバーの固有振動数を所定幅で可変にして高精度の計測を行うことができる固有振動可変型のカンチレバーによる測定対象物の計測方法および装置を提供する。【解決手段】 固有振動可変型のカンチレバーによる測定対象物の計測装置において、外部からの光エネルギーの付加によるカンチレバー201の固有振動数を所定幅で可変になるように制御し、このカンチレバー201の固有振動数の制御によって試料としての物質の特性を計測する。【選択図】 図10

請求項（抜粋）：

カンチレバーに外部エネルギーを加え、該カンチレバーの固有振動数を所定幅で可変とすることにより、測定対象物の特性を前記カンチレバーの固有振動数に対応させて測定することを特徴とする固有振動可変型のカンチレバーによる測定対象物の計測方法。

IPC (3件)：

G01N13/16 ,  G01H13/00 ,  G12B21/08

FI (4件)：

G01N13/16 A ,  G01N13/16 C ,  G01H13/00 ,  G12B1/00 601D

Fターム (9件)：

2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069LL04 ,  2G064AB11 ,  2G064BC05 ,  2G064BC32

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-156645   出願人：科学技術振興事業団
• カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-160482   出願人：科学技術振興事業団